УСТАНОВКА ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ РОССИЙСКОГО ПРОИЗВОДСТВА

Российские инженеры выпустили на рынок новое, удобное решение для исследований в области микроэлектроники - установку микроволнового плазмохимического травления для удаления пластиковых корпусов - СИДМЭЛ SAME200.

СИДМЭЛ SAME200

СИДМЭЛ SAME200 - это установка микроволнового плазмохимического травления российского производства, разработанная для исследований в области микроэлектроники. Установка позволяет травить диэлектрики (оксида кремния) и различные полимеры (резисты, полиимиды, эпоксидные смолы). Подойдет для НИОКР-лабораторий, опытных и мелкосерийных производств.
Преимущества установки
Установка СИДМЭЛ SAME200 отвечает современным российским ГОСТам: ГОСТ МЭК 60204-1-2007, ГОСТ 30804.6.1-2013 (IEC 61000-6-1:2005), ГОСТ 30804.6.3-2013 (IEC 61000-6-3:2006).
Программное обеспечение имеет простую и понятную логику. Обучение работе на установке не требует длительного времени.


Вернуться назад
Особенности установки
Установка СИДМЭЛ SAME200 разработана для исследований в области микроэлектроники. Важную роль в конструкции занимают безопасность использования и удобный функционал, обеспечивающий надежный, управляемый процесс травления.
Контролируемый, повторяемый процесс
  • Управление мощностью источника;
  • Точный контроль подачи газов;
  • История аварийных сообщений,
  • Контроль рецептов в процессе работы;
  • Запись параметров процессов.
Простота управления, использования, обслуживания
  • Сенсорный экран;
  • Сохранение рецептов травления;
  • Простой и понятный интерфейс;
  • Эргономичный дизайн;
  • Подстройка дисплея;
  • Управление на ПК с Windows на руccком языке.
Безопасность
  • Отсутствие опасных химикатов;
  • Более экологичный метод по сравнению с кислотным травлением;
  • Не требуют специальных средств индивидуальной защиты.
Широкий спектр применения
  • Работа с широким спектром пластиковых корпусов;
  • Единственное решение для серебряных разварочных выводов;
  • Травление образцов со всеми типами проводов.
Преимущества применения
Обеспечивает безопасное и надежное травление различных пластиковых корпусов с любыми типами проволочных соединений
МАТЕРИАЛЫ ТРАВЛЕНИЯ
  • ОКСИД КРЕМНИЯ
  • РЕЗИСТЫ
  • ПОЛИИМИДЫ
  • ЭПОКСИДНЫЕ СМОЛЫ
ПРОВОЛОЧНЫЕ СОЕДИНЕНИЯ
  • ЗОЛОТЫЕ
  • МЕДНЫЕ
  • СЕРЕБРЯНЫЕ
Технические характеристики
Размеры
Основной блок, (ВхШхГ) мм - 1400 х 580 х 580 мм;
Реакционная камера - диаметр 200 мм, 120 мм;
Максимальные размеры образца - диаметр 160 мм, высота 80мм;
Область травления (по центру) - 15мм х 15мм.
Система электропитания
Питание установки - 220 В, 1ф, 50/60Гц, 6А.
Используемые газы
Аргон (Ar), кислород (O2), азот (N2), тетрафторид углерода (CF4) -
давление 1 - 2 бар, регулировка расхода газа: 0-200 мл/мин;
Сжатый воздух - давление 8 бар, расход: 50 л/мин.
Генератор (возбуждение плазмы)
Мощность (регулируемая) - 0-200 Вт;
Частота - 2.4 – 2.5 ГГц;
Удаленное управление генератором - есть.

Параметры травления
Тип источника - Surface Wave plasma source;
Типы материалов для травления - диэлектрики: оксид кремния; полимеры: резисты, полиимиды, эпоксидные смолы;
Время травления - определяется пользователем;
Скорость травления - от 10 мкм/мин;
Количество запрограммированных рецептов
- возможность создавать собственные рецепты травления. Количество не ограничено.
Управление
Сенсорный русскоязычный интерфейс на основе тачскрина
Операционная система Windows 10
Безопасность
Система экстренного отключения.
Охлаждение плазменного источника
Источник плазмы имеет водяное охлаждение с рециркуляционной охладительной системой;
Опционально, предусмотрена система водяного и воздушного охлаждения.
Тип загрузки
Тип загрузки камеры - открытая
Хотели бы посмотреть, как работает оборудование? Договоритесь с нашими инженерами о персональной демонстрации прибора. Для этого отправьте свои контактные данные. Мы свяжемся с Вами!

Вы также можете позвонить нам по тел. +7 495 266 69 28 или написать на почту info@sidmel.ru.
Нажимая на кнопку, вы даете согласие на обработку персональных данных и соглашаетесь c политикой конфиденциальности
ООО "СИДМЭЛ"
КОНТАКТЫ
Телефон
+7 495 266 69 28
Юр.адрес
121205, Г МОСКВА, ВН.ТЕР.Г. МУНИЦИПАЛЬНЫЙ ОКРУГ МОЖАЙСКИЙ, ТЕР СКОЛКОВО ИННОВАЦИОННОГО ЦЕНТРА, Б-Р БОЛЬШОЙ, ДОМ 42 СТРОЕНИЕ 1, ЭТАЖ/ПОМЕЩ./РМ 4/117/2
E-mail
info@sidmel.ru